静電気除去装置｜アドバンストツールチーム

静電気除去装置
アドバンストツールチーム

革新的なアイデアや技術で
エレクトロニクス産業の発展に貢献

静電気除去装置をはじめ、製造現場における様々な問題を解決するために、世界中の優れた知と技を活用し、ソリューションパートナーを目指します。

静電気対策のスペシャリスト

ガラス基板のたわみ・割れ・吸着、ウエハやデバイスの破壊、搬送装置や製造設備の誤動作、真空プロセスでの成膜不良など、静電気の帯電による様々な問題の解決をサポートしてきました。最先端半導体製造工程向けウルトラクリーン対応バータイプイオナイザーや、液晶・有機EL業界向け光照射式イオナイザーなど、特徴のある静電気対策製品のご対案を通じて、お客様が抱える静電気にまつわる様々な問題を、一緒に解決します。

異物問題解決のサポート

様々な要因から付着し、一度付着すると簡単には落ちてくれない異物。異物が付着しづらい環境づくりから、付着してしまった異物の除去まで。実はイオナイザーにはまだまだ出来ることが多くあります。エリア全体の広範囲を除電するルームイオナイザーや、パルスエア噴射型イオンガン、除電・ブロー・集塵が一体となった装置などを通じて、現場のお客様が抱える異物問題を一緒になって解決します。