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静電気対策、ゴミ対策、クリーン化対策、真空プロセスガス制御 関連機器

エレクトロニクス・半導体・フラットパネル・製薬・フィルム・化学工業・印刷業界など幅広い業界で静電気の問題が存在します。弊社では静電気問題をお持ちのお客様に対して、静電気除去装置(イオナイザー)をはじめとして、様々なソリューションを用意させていただいており、ハイレベルな問題解決提案をおこなっております。また、静電気によって引き起こされるゴミの問題やプロセスに関連する問題解決に対しても積極的に取り組んでおります。長年にわたる経験と実績により信頼性の高いソリューションを提供しております。

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実績・事例など

静電気除去装置(イオナイザー)においては、大手半導体メーカー、大手液晶パネル製造メーカーをはじめとして、多くのエレクトロニクス産業のユーザー様で導入していただいております。特に清浄度の要求レベルの高いクリーンルーム用のイオナイザーにおいては、ユーザー様の評価は高く、多くの導入実績をもっております。 また、静電気計測器、導電性材料(コーティング)、パーティクルカウンターなど問題解決を行なうためのツールを多く取り扱っております。

イオナイザー(静電気除去装置)

米国ITW ION製イオナイザー(静電気除去装置)は、半導体・液晶パネル製造メーカーをはじめ多くのユーザーの製造ラインにおいて、静電気トラブルを防止するために使用されております。イオナイザーは、帯電している物体表面に空気イオンを供給することで、余剰の表面電荷を中和させる装置です。 弊社では、お客様の多岐な用途に応じてクリーンルームの天井に取り付るエミッタータイプ、製造装置に組み込むバータイプなど様々なタイプのコロナ放電型イオナイザーをご提供しております。

イオナイザー(静電気除去装置)

浜松ホトニクス社製フォトイオナイザー(静電気除去装置)は、微弱X線を用いて、空気をイオン化する方式であり、よりクリーンな環境で使用することができます。
【特長】
■送風が不要
■高イオン濃度
■逆帯電がない
■電極の清掃が不要
■オゾン発生「ゼロ」
■塵・電磁ノイズの発生「ゼロ」

プラズマ異常放電検知モニターシステム

日本エム・ケー・エス株式会社のチャンネルパートナーとして、半導体・FPDを始めとする様々な製造プロセスで用いられるガスの測定・制御・分析を行う機器・コンポーネンツを提供いたします。

●圧力計(絶対圧式/差圧式)
●マスフローコントローラ
●圧力コントロールシステム
 (アップストリーム/ダウンストリーム)
●HPSゲージ/バルブ/継ぎ手
●ヘリウムリークディテクタ PICO
●Spectraプロセスモニタ